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臺階儀:亞埃級垂直分辨率,新材料納米加工的測量利器!

更新時間:2024-02-20      點擊次數:428

臺階儀亞埃級垂直分辨率能夠實現納米級別的測量和分析,儀器具備出色的精確性和穩定性。在納米加工領域,臺階儀不僅能準確評估材料的表面形貌和結構,同時也為納米加工過程的控制和優化提供了可靠的依據。利用臺階儀實時觀測材料表面的微觀變化,并對其進行全面的分析和表征,這對于了解材料的晶體結構和電子性質等方面至關重要。


CP系列臺階儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13um量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。具有出色的重復性和再現性,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

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測量功能

(1)臺階高度:能夠測量納米到330μm甚至1000μm的臺階高度

(2)粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項參數;

(3)翹曲與形狀:能夠測量樣品表面的2D形狀或翹曲,如在半導體晶圓制造過程中,因多層沉積層結構中層間不匹配所產生的翹曲或形狀變化,或者類似透鏡在內的結構高度和曲率半徑。

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臺階儀的應用,不僅能幫助科研人員解決納米材料表面形貌難題,還為納米加工提供了重要參考。此外,臺階儀還具有適用范圍廣的優點。它對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求。

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臺階儀具有測量精度高、測量速度快、適用范圍廣等優點,它的應用不僅能夠提高納米加工的效率和質量,同時也為材料工程領域的研究提供了新的視角。

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